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中仪器网对电子气体净化器现状与趋势
电子气体净化器是对电子气体进行在线净化与电子气体样同属我亟待发展的战略资源与关键技术从技术和市场角度对电子气体净化器现状和发展做总体性概括介绍和展望 电子气体是集成电路平板显示光纤光伏电池等高科技产业的基石和源性支撑材料 广泛用于薄膜沉积刻蚀掺杂钝化清洗或用作载气保护气氛等电子气体对纯净度的要求极高 即使是痕量杂质也可导致产品缺陷 严重影响产品性能和成品率此外许多痕量杂质会污染制成设备不仅导致关键工艺参数的偏移终还有可能因此而不得不更换或者维修这些仪器而更换或维修动辄需要几百万。电子气体净化器结构电子气体净化器实质上是以单层或多层催化吸附或吸气材料为核心的固定净化床
